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气体捕集泵概述
2017-08-05 17:14:32 来源:“上海水兴”ENG气体捕集泵概述——上海水兴阀门有限公司ENG气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内外表上,从而减小了容器内的气体分子数目而到达抽气目的的真空泵,有以下几种型式。
1、吸附泵
它主要依托具有大外表的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2、吸气剂泵
它是一种应用吸气剂以化学分离方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或堆积新颖薄膜方式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。
3、吸气剂离子泵
它是使被电离的气体经过电磁场或电场的作用吸附在有吸气资料的外表上,以到达抽气的目的。它有如下几种型式。
(1)蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以连续或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气资料上,以完成抽气的一种真空泵。
(2)溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气资料上,以完成抽气目的的一种真空泵。
4、低温泵
应用低温外表捕集气体的真空泵。
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